当今的微机电系统(MEMS)所用于的量产生产技术倚赖便宜的半导体微影设备。因此，晶片的生产一般来说必须不存在一个相当大的市场，才不足以涵括某种特定元件的生产成本拒绝，以及构建商品化的可能性。　　美国麻省理工学院(MIT)微系统技术研究室(MicrosystemsTechnologiesLaboratories)的研究人员日前展出几种能以低成本打造出MEMS的新方法，不仅并能所生产的元件构建非常简单的客制化，同时还利用一种桌上型的3D打印晶圆厂，为制造商获取一种全新的替代路径。

　　这种生产MEMS的新途径需要构建一些数量较小的新感测器与元件；这些元件一般来说无法寻找够大的市场为其涵括用于传统制程从IP到终端产品的原始研发与成本。　　MIT研究人员的元件生产方式规避了造成传统MEMS生产成本显得便宜的许多必要条件。　　我们所用于的积层生产技术是以低温与无真空条件为基础，MIT微系统技术研究室首席研究科学家LuisFernandoVelasquez-Garcia回应，我们所用于的最低温度大约为60℃。

在晶片中，你也许得生长氧化物，但其生长条件约要1,000℃。而在许多情况下，反应器必须较高的真空，才能防止污染。但我们较慢地展开生产，所公布的晶片从开始到已完成只必须几个小时的生产时间。

　　实际的生产技术各不相同所用于的密集发射器阵列，在受到强劲的电场时倾倒出微流体。为了打造出气体感测器，来自英国公司EdwardsVacuum的客座研究人员Velasquez-Garcia与AnthonyTaylor用于了所谓的内部供电发射器。　　这种具有圆柱状孔径的发射器可让流体通过。

研究人员们利用所含微小石墨烯氧化物薄片的流体，在矽基板上喷涂预设的图案。流体很快冷却后，留给仅有数十奈米薄的石墨烯氧化物薄片涂层。由于该薄片十分轻巧，在与气体分子相互作用后，以可测量的方式转变其电阻值，使其可用作检测。

　　根据Velasquez-Garcia回应，所获得的气体感测器在精确度方面可相媲美几百美元的便宜商用产品，而且它的速度还更慢，只需几美分才可打造出出来。　　在研究人员首次规画时，Velasquez-Garcia和Taylor所用于的电倾倒发射器是利用传统半导体生产所打造出的。

本文来源：乐享体育官方app下载-www.prlindonesia.com